Co-optimization of the mask, process, and lithography-tool parameters to extend the process window
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
consequence analysis of the leakage, ignition and explosion during high pressure sour gas injection process to the oil reservoir
there is no doubt that human being needs to become integrated with industry and industry needs to be progressed, daily. on the other hand, serious events in industrial units specially in oil industries has been shown that such damages and events are industry related ones. the consequence of such events and damages which resulted in chemical and poisoned explosions and loss of life and property ...
Pixelated source mask optimization for process robustness in optical lithography.
Optical lithography has enabled the printing of progressively smaller circuit patterns over the years. However, as the feature size shrinks, the lithographic process variation becomes more pronounced. Source-mask optimization (SMO) is a current technology allowing a co-design of the source and the mask for higher resolution imaging. In this paper, we develop a pixelated SMO using inverse imagin...
متن کاملa study on the design of bio-ethanol process from date wastes of sistan and baluchistan province
اتانول کاربردهای متنوعی در صنایع لاستیک سازی، رنگسازی، حلالها ومکمل سوخت خودرو دارد. اتانول برخلاف نفت از جمله مواد تجدیدپذیر محسوب می شود که مشکلات زیست محیطی و آلودگی نیز ایجاد نمی کند. استفاده از اتانول به عنوان مکمل سوختخودروها از جمله مهمترین مصارف صنعتی این ماده بشمار می رود. با توجه به این موضوع تحقیق و توسعه در زمینه تولید اتانول با درجه خلوص بالا در سطح جهان، و نه تنها در کشور های پیشر...
the effect of keeping reflective journals by language instructors on the process of reading comprehension among iranian high school students
خواندن ودرک مطلب از مهمترین مهارتها در یادگیری زبان خارجی محسوب می شود. این تحقیق تاثیر برگه های تامل برانگیز هدایت شده را در ارتقاع مهارت خواندن ودر ک مطلب در دانش اموزان دبیرستانی ایرانی بررسی می نماید. ازمجموع ?2 دانش آموز سال چهارم دبیرستان شهید رجایی شهرستان اسلامشهر¸ پس از اجرای آزمون استاندارد ((nelson 150a تعداد 39 دانش آموز که نمرات آنها یک سطح انحراف معیار بالاتر یا پایین تر ازمعدل قر...
Design and manufacture a novel tool in the incremental sheet metal forming process and its effects on the process parameters
One of the methods for making prototypes is incremental forming process. In this method, the forming tool, performs a pre-programmed movement by the CNC machine and runs the desired path. This modernization process is used in the automotive, aerospace, military, medical and other industries. One of the most influential parameters in this process is forming tool. This parameter is effective in f...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
سال: 2014
ISSN: 1932-5150
DOI: 10.1117/1.jmm.13.1.013015